液体原料用温度コントローラー
VTC17シリーズ
VymoreのVTC17シリーズ温度コントローラーは、バブラーとも呼ばれ、液体原料となる化学薬品や前駆体を高精度かつ安定した温度に維持します。前面からアクセスできる設計により、設置スペースが限られた環境でもアンプルの交換や取り扱いが容易です。高度なアラーム機能と警告システムにより、ユーザーの安全性を高め、潜在的な問題を事前に察知して対処することができます。豊富な稼働実績を持つVTC17は、優れた信頼性と長期耐久性を実現しています。従来型バブラーから容易に置き換えられるドロップイン設計を採用し、通常数週間以内の迅速な納品と、24時間体制の迅速なサポートを提供します。
Vymoreならではの特長
高速PID制御
VymoreのVTC17バブラーは、特にバブリングプロセスの開始時における液体前駆体の温度変化を迅速に検知します。応答性に優れたPIDコントローラーにより、安定した高精度な温度制御を実現します。
アナログ通信およびフィールドバス通信
アナログ通信にはD-sub 25ピンコネクターを使用しています。アナログ信号は電源からガルバニック絶縁（電気的絶縁）されており、不要なグラウンドループの発生を防止します。一般的な産業用Ethernet通信プロトコルに対応したフィールドバス通信は、2つのRJ45コネクターを介して利用できます。Ethernet通信やアナログ通信に異常が発生した場合、または予期しない電源リセットが発生した場合でも、VTC17液体原料用温度コントローラーは、最後に保存された設定値を使用して、安全かつ自律的に動作を継続します。
交換可能な温度センサー
温度センサーは再校正を必要とせずに交換できます。高品質なプッシュプル式コネクターにより、取り付けが容易で、液体原料の温度を高い信頼性で測定できます。また、温度センサーが正しく設置されていない場合は、自動的に検知して通知します。
スタンドアロン型温度コントローラー
オールインワン型の液体前駆体温度制御システムは、直流（DC）電源で動作するため、装置付近に危険な高電圧接続を設ける必要がありません。バブラーのDC電源はシステムの非常停止回路に組み込まれており、緊急時には直ちに装置を停止できる設計となっています。
バブリング方式
液体原料用温度コントローラーは、蒸発システムの一部として使用されます。窒素などのキャリアガスを液体原料中に通過させることで、一定量の化学物質の蒸気をキャリアガスに取り込ませます。化学物質の温度を高精度に制御することで、蒸気圧を正確に規定できます。この方式により、キャリアガスと蒸気の混合比を安定かつ予測可能な状態に維持できます。
VTC17バブラー
モデル一覧
- VTC17S 標準冷却・加熱モデル：15.00～40.00°C
- VTC17TLC Trans-LC冷却・加熱モデル：15.00～22.00°C
- VTC17H 加熱専用モデル：35.00～110.00°C
温度精度
- 測定温度20°Cにおける温度精度：±0.2°C
寸法・重量
- 高さ：230 mm
- 幅：212 mm
- 奥行き：260 mm
- 重量：
- VTC17S/TLC: 8.9kg
- VTC17H: 6.7kg
液体前駆体容器
- 1.5 L石英製容器
- 1.2 Lステンレス製容器
液面検出
アナログ通信およびEthernetフィールドバス通信
アラーム
CE認証取得済み
オプション
- AC/DC電源ユニット
- VRD10リモートディスプレイ
オプション：VRD10リモートディスプレイ
VTC17バブラーの表示内容をそのまま表示
音声アラーム
寸法・重量
- 高さ：63 mm
- 幅：203 mm
- 奥行き：44 mm
- 重量：0.7 kg