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液体源温度控制器

VTC17 系列 

Vymore 的 VTC17 系列温度控制器,也称为 Bubbler(汽化器),可将液体源化学品或前驱体保持在精确且稳定的温度下。其前置式结构设计使安瓿瓶在空间受限的环境中也能轻松取放。 先进的报警与预警系统增强了使用安全性,并有助于在问题发生前提前预判。凭借可靠的市场表现,VTC17 提供卓越的稳定性与长期耐用性。 VTC17 专为替代旧一代汽化器而设计,可直接替换安装,支持数周内快速交付,并提供全天候技术支持,响应及时可靠

precursor temperature control liquid source bubbler

我们的差异化技术特点

 快速温度控制

Vymore VTC17 喷淋器能够迅速检测前驱体的温度变化,尤其在起始喷淋过程中表现突出。其响应迅速的 PID 控制器可实现稳定且精确的温度调节。 

模拟与现场总线通信

模拟通信通过 D-sub-25 接口实现,模拟信号与电源之间采用光电隔离,避免了多余接地回路的风险。以太网现场总线通信通过两个 RJ45 接口提供,支持常见的以太网通信协议。若发生以太网或模拟通信故障,或意外断电重启,VTC17 液体源温度控制器将根据最后存储的数据值继续安全、独立运行。

可更换温度探头

温度探头可更换,无需重新校准。高品质的推拉式连接器确保了安装简便且液体源温度测量可靠。探头放置不当时可自动检测并发出提示。

独立式温度控制器

这款一体化前驱体温控解决方案采用直流电压供电,避免了在设备附近使用高压连接的安全风险。喷淋器的直流电源集成于系统的紧急电路中,确保在紧急情况下可立即断电停机。

Bubbler Methode illustration

汽化器方法

液体源温度控制器是蒸发系统的一部分。载气(如氮气)通过液体,吸收已知量的化学蒸气。由于化学品的温度被精确控制,产生的蒸气压也得到了准确的定义。这种技术确保了载气与蒸气混合物的一致性和可预测性。

VTC17 温度控制器
Chemical temperature Ethernet

型号概述

  • VTC17S 标准冷/热型:15.00 - 40.00°C
  • VTC17TLC Trans-LC 冷/热型:15.00 - 22.00°C
  • VTC17H 仅加热型:35.00 - 110.00°C

温度精度

  • 在测量温度为 20°C 时,精度为 0.2°C

尺寸和重量

  • 高度:230毫米
  • 宽度:212毫米
  • 深度:260毫米
  • 重量:
    • VTC17S/TLC:8.9公斤
    • VTC17H:6.7公斤

 前驱体容器

  • 1.5L 石英容器
  • 1.2L 不锈钢容器

液位传感

模拟与以太网现场总线通信

报警

CE 认证

选项

  • 交流转直流电源
  • VRD10 遥控显示器



VRD10 遥控显示器

Display liquid source bubbler


复制显示 VTC17 汽化器的内容

音频报警

尺寸和重量

  • 高度:63毫米
  • 宽度:203毫米
  • 深度:44毫米
  • 重量:0.7公斤